• clock Køb på webshop inden 14.00 - varen sendes samme dag
  • info Læs mere om os
  • bullhorn Mere end 60 år i branchen!
  • cubes Over 25.000 varer på lager
BROOKS INSTRUMENT
BROOKS INSTRUMENT

Masseflowcontroller GF100

Type GF100, GF120, GF125

  • Til alle gastyper op til 34bara - dog max 50°C
  • Metaltætning tillader overfladeruhed bedre end Ra=4µm
  • Full-scale flowområder op til 300 sl/min (ref. N2)
  • Gas- og flowområde ændres via serviceport uden at tage instrumentet ud af proceslinien
  • Høj nøjagtighed, stabilitet og responstid

Produktbeskrivelse

BrooksGF100, GF120 og GF125 er en serie præcise og stabile termiske masseflowcontrollere og -målere. De kan bruges til stort set alle typer gas og udmærker sig ved, nemt at kunne omstilles til nye gasser/nyt måleområde uden at fjerne instrumentet fra proceslinien og uden ny kalibrering. Metaltætningen giver en hurtig responstid og høj repeterbarhed og gør at serien performer bedre end det kræves i de gængse industristandarder.

GF-serien kommer med et brugervenligt display og kan kommunikere fx. via RS485 eller DeviceNet.

 

Kan med fordel anvendes i semiconductor industrien, MOCVD og applikationer, hvor polymere tætninger er uønskede.

Bestillingsinformation

Kontakt vores produktspecialist for at finde den mest optimale løsning til dit behov.

 

Varianter

Favoritter Artikler Pris Overfladeruhed Responstid Sprængtryk Tryk Trykområde max
0,4 µm Ra < 1 s 200 bar 34 bar 47 bar
0,4 µm Ra < 1 s 200 bar 34 bar 47 bar
0,1 µm Ra 300 ms (3-860 mln/min, 400 ms (861-7 200 mln/min),500 ms (7 201-30 000 mln/min), < 700 ms (30 001-55 000 mln/min) 34 bar 7 bar 10 bar

Variant

GF-100
Masseflowmåler GF100

Specifikationer

Datakommunikation RS485, DeviceNet
Diagnostik/serviceport RS485 (2,5mm plug)
Differenstryk 3-860 mln/min = 7-45 psid, 861-7 200 mln/min = 10-45 psid, 7 201-55000 mln/min = 15-45 psid
Flowområder fra 0,003-50 ln/min
Godkendelser CE, RoHS, SEMI F20 kompatibel, EN61010-1, EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
Lækrate 1x10-11 atm. ml/s H2
Materiale medieberørte del Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316, Hastelloy
Normalt lukkede ventilstænger <1%F.S
Normalt åbne ventilstænger 2%F.S
Overfladeruhed 0,4 µm Ra
Rækkevidde max 3 m
Reguleringsområde 2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
Responstid < 1 s
Sprængtryk 200 bar
Temperaturområde fra 10 °C
Temperaturområde til 50 °C
Tryk 34 bar
Trykområde max 47 bar
Ventil type NC
Teknisk rådgivning
Linda FennebergLinda Fenneberg

Produktchef, Industri

48 10 64 91

Send e-mail

Kundesupport

Hvis du har brug for support, kontakt os via en af nedenstående måder.

70 10 64 00

Send e-mail