BROOKS INSTRUMENT
Ultra Høj Renhed, Display, Solcelle, Laboratorium, Semiconductor
Metaltætnet Mass Flow Controller og Meter - MFC/MFM - GF100 Serien
Brooks GF100, GF120 og GF125 er en serie præcise og stabile termiske masseflowcontrollere og -målere. De kan bruges til stort set alle typer gas og udmærker sig ved, nemt at kunne omstilles til nye gasser/nyt måleområde uden at fjerne instrumentet fra proceslinien og uden ny kalibrering. Metaltætningen giver en hurtig responstid og høj repeterbarhed og gør at serien performer bedre end det kræves i de gængse industristandarder.
GF-serien kommer med et brugervenligt display og kan kommunikere fx. via RS485 eller DeviceNet.
Kan med fordel anvendes i semiconductor industrien, MOCVD og applikationer, hvor polymere tætninger er uønskede.
NB: Dette produkt er blot basen og findes i mange variationer alt efter deres anvendelse. Se teknisk dokument længere nede for varianter og tag fat i os for at få vejledning til at finde det helt rigtige produkt til jeres behov.
- Til alle gastyper op til 35 bar standard - high flow 6 bar - dog max 50°C
-
Ultra-High Purity - Ultra renrum - Metaltætning overfladeruhed
- Full-scale flowområder op til 300 sl/min (ref. N2)
- Gas- og flowområde ændres via serviceport uden at tage instrumentet ud af proceslinien
- Høj nøjagtighed, stabilitet og responstid
Udvalgt variant
Udvalgt variant
Specifikationer
| Alarm | Alarms: Control Valve Output & Network Interruption |
|---|---|
| Analog output | 0-5 Vdc |
| Certifikater | EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006 |
| Datakommunikation | RS485, DeviceNet |
| Diagnostik/serviceport | RS-485 via 2.5mm jack |
| Differenstryk | 30-90 psid |
| Digital output | DeviceNet, RS485-L |
| Display | Ja, Top Mount Integrated LCD |
| Displayvisning | Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit) |
| Elektrisk tilslutning | RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector |
| Flow | 55 - 300 ln/min |
| Forsyning | DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc |
| Funktion | Mass flow controller, Mass flow meter |
| Gentagelsesnøjagtighed | <±0.15% S.P. |
| Lækrate | 1x10-10 atm. cc/sec He |
| Laveste flow | 55 ln/min |
| Linearitet | ± 0.5% F.S. |
| Materiale medieberørte del | Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316 |
| Medietemperatur fra | 10 °C |
| Medietemperatur til | 50 °C |
| Multiflow | Standard |
|---|---|
| Normalt lukkede ventiler åbner ved | < 2%F.S |
| Normalt åbne ventiler lukker ved | N/A |
| Nulpunktsdrift | < + 0.5% F.S |
| Nøjagtighed | +1% S.P. > 35-100%, +0.35% |
| Overfladeruhed | 10 µm Ra |
| Reguleringsområde | 5-100% (Normally Closed Valve) |
| Responstid | <1 s |
| Sprængtryk | 206 bar |
| Statusindikering | MFC Health, Network Status |
| Temperaturkoefficient | Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C |
| Temperaturområde fra | 10 °C |
| Temperaturområde til | 50 °C |
| Tilslutning | 1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal |
| Tryk | 10 bar |
| Trykkoefficient | N/A |
| Trykområde max | 55 bar |
| Ventil type | NC |
Produktbeskrivelse
Brooks GF100, GF120 og GF125 er en serie præcise og stabile termiske masseflowcontrollere og -målere. De kan bruges til stort set alle typer gas og udmærker sig ved, nemt at kunne omstilles til nye gasser/nyt måleområde uden at fjerne instrumentet fra proceslinien og uden ny kalibrering. Metaltætningen giver en hurtig responstid og høj repeterbarhed og gør at serien performer bedre end det kræves i de gængse industristandarder.
GF-serien kommer med et brugervenligt display og kan kommunikere fx. via RS485 eller DeviceNet.
Kan med fordel anvendes i semiconductor industrien, MOCVD og applikationer, hvor polymere tætninger er uønskede.
NB: Dette produkt er blot basen og findes i mange variationer alt efter deres anvendelse. Se teknisk dokument længere nede for varianter og tag fat i os for at få vejledning til at finde det helt rigtige produkt til jeres behov.
Bestillingsinformation
OBS ! Den viste pris er kun for "basic" enheden
Kontakt vores produktspecialist for at finde den mest optimale løsning til dit behov.
