2023-04-14

GP200 - Differenstrykbaseret Mass Flow Controller (MFC) - når høj nøjagtighed er et proceskrav

Brooks Instruments GP200 differenstrykbaseret Mass Flow Controller med et unikt teknisk design, der overvinder de eksisterende begrænsninger i de nuværende trykbaserede Mass Flow Controller, muliggør en meget nøjagtig gasflow gennem processen under varierende forhold. GP200-serien er den første fuldt trykuafhængige trykbaserede Mass Flow Controller fra Brooks (P-MFC), der er designet specielt til avancerede ætsnings- og aflejringsprocesser inden for semiconductorindustrien.

Produktnyheder

Gp200 trykbaserede Mass Flow Controller

P-MFC'er i GP200-serien har en patenteret arkitektur, der overvinder begrænsningerne ved konventionelle P-MFC'er for at give den mest nøjagtige procesgasforsyning, selv ved procesgasflows med lavt damptryk. Den indeholder flere unikke designaspekter, herunder en integreret differenstrykssensor kombineret med en nedstrømsventilarkitektur. Dette giver den mest nøjagtige procesgasflow over det bredeste udvalg af driftsbetingelser i branchen.

Anvendelsesområder:

  • Anvendelsesområder: Semiconductorindustrien
  • Ætsning
  • Kemisk dampudfældning (CVD)
  • Gasflow-kontrolapplikationer, der kræver en høj renhed af hele metallet i flowet.

video cannot show image

Hvorfor du skal vælge GP200-Mass Flow Controller?

Fordi GP200-serien af Mass Flow Controller understøtter et meget bredt spektrum af procesbetingelser, kan den bruges som en drop-in erstatning og opgradering for mange traditionelle P-MFC'er og termiske MFC'er. Den reducerer kompleksiteten og omkostningerne af gasflowsystemet, da den eliminerer behovet for komponenter som trykregulatorer og omformere.

check mark box Reduceret måleusikkerhed ved hjælp af en differenstrykssensor, der giver overlegen nøjagtighed og repeterbarhed i flowmåling.
check mark box Egnet til alle procesforhold, tryk og gasser.
check mark box Præcis og gentagelig gaslevering, 2,5X hurtigere flowstabilisering for øget flow.
spinner symbol

 

Fordele:

  • Ved at fjerne kravet om at matche og kompensere to separate tryksensorer reducerer GP200 differenstrykteknologien måleusikkerheden for at øge nøjagtigheden, repeterbarheden og driftspræcisionen.
  • Sikrere fabriksdrift ved lavere indgangstryk er nu mulig med en P-MFC takket være GP200 differenstrykssensoren, som er specielt optimeret til måling af lavt differenstryk.
  • Den downstream-baserede ventilarkitektur sikrer, at nøjagtigheden er uafhængig af downstream-trykket, hvilket muliggør flow ved tryk på helt op til 1,6 Bar. Den hurtigt lukkende ventil afhjælper ikke-produktive ventetider for opskrift, eller "svaneeffekter", som ses i upstream FC-ventilkonstruktioner, der kræver ekstra tid til at tømme deres interne gasvolumen.
  • Ultrahurtig, meget gentagelig op- og downstreamstabiliseringstid forbedrer processtyring i avancerede højcykliske udfældnings- og ætsningsprocesser med høj cyklus.
  • 100 gange bedre lukning af ventilen.
  • Med MultiFlow™ kan MFC'ens fulde flowområde nedskaleres med en faktor 3:1 uden at påvirke nøjagtighed, turndown eller lækage til specifikation, hvilket giver optimal proces- og lagerfleksibilitet. 
  • Praktisk brugerdisplay og uafhængig diagnose-/serviceport letter installation, overvågning og fejlfinding af enheden.
  • Metaltætnet ultrahøj renhed.

 

Funktioner:

  • Præcist differenstrykmåling
  • Drift med lavere indgangstryk
  • Arkitektur for downstreamventiler
  • Tilpasset transient respons
  • Nul lækage gennem kontraventil
  • MultiFlow™-teknologien giver uovertruffen fleksibilitet - én enhed kan programmeres til tusindvis af forskellige gas- og flowkonfigurationer uden at fjerne MFC'en fra gasledningen eller gå på kompromis med nøjagtigheden.
  • Lokalt display viser flow, temperatur, tryk og netværksadresse.
  • DeviceNet™, EtherCAT®, RS-485 L-Protocol og analoge grænseflader.

Du finder GP200 her:

Kontakt Danni eller Nicholas for at høre mere:

Danni Nørløv Larsen
Salgsingeniør, Proces
29 48 17 34 29 48 17 34
danni.norlov.larsen@oemklitso.dk Send e-mail
Ansvarsområder

Food/Pharma, Sjælland/Fyn. Industry, Danmark

Nicholas Haslund
Produktchef og Intern Sælger, Proces
48 10 64 02 48 10 64 02
nicholas.haslund@oemklitso.dk Send e-mail
Ansvarsområder

Flowcontrol og trykregulering

Se alle vores Mass Flow Controller:

Teknisk rådgivning
Nicholas Haslund

Produktchef og Intern Sælger, Proces

+4548106402 48 10 64 02

Send e-mail Send e-mail

Kundeservice

Har du har brug for hjælp? Kontakt os:

phone 70 10 64 00

Send e-mail Send e-mail

Logo

COOKIE-INDSTILLINGER FOR OEMKLITSO.DK

Cookies hjælper os med at forbedre din oplevelse med os. Så for at kunne analysere trafikken, håndtere loginoplysninger, tilbyde dig personlige oplysninger og for at grundlæggende funktionalitet kan fungere på webssitet, skal vi bruge nogle cookies.

NØDVENDIGE COOKIES

Disse cookies er nødvendige for, at webstedet fungerer og kan ikke slås fra i vores systemer. De bruges normalt kun som reaktion på handlinger, du har foretaget i forbindelse med en serviceanmodning, f.eks. Når du angiver personlige præferencer, logger ind eller udfylder en formular.

ANALYSE OG MÅLING

Disse cookies giver os mulighed for at tælle antallet af besøg og trafikkilder, så vi kan måle og forbedre vores websteds ydeevne. De hjælper os med at vide, hvilke sider der er mere eller mindre populære, og hvordan besøgende navigerer rundt på webstedet. De oplysninger, som disse cookies indsamler, er aggregerede og derfor helt anonyme. Hvis du ikke tillader disse cookies, ved vi ikke, hvornår du har besøgt vores websted.

MARKEDSFØRING

Disse cookies kan tilføjes af vores partnere. De kan bruge dem til at oprette en profil af dig baseret på dine interesser for at vise dig mere relevante oplysninger. De gemmer ingen personlige oplysninger - kun oplysninger om din browser og enhed. Hvis du ikke accepterer disse cookies, får du en mere generel og mindre tilpasset brugeroplevelse.