Brooks Instruments GP200 differenstrykbaseret Mass Flow Controller med et unikt teknisk design, der overvinder de eksisterende begrænsninger i de nuværende trykbaserede Mass Flow Controller, muliggør en meget nøjagtig gasflow gennem processen under varierende forhold. GP200-serien er den første fuldt trykuafhængige trykbaserede Mass Flow Controller fra Brooks (P-MFC), der er designet specielt til avancerede ætsnings- og aflejringsprocesser inden for semiconductorindustrien.
Produktnyheder
Fordi GP200-serien af Mass Flow Controller understøtter et meget bredt spektrum af procesbetingelser, kan den bruges som en drop-in erstatning og opgradering for mange traditionelle P-MFC'er og termiske MFC'er. Den reducerer kompleksiteten og omkostningerne af gasflowsystemet, da den eliminerer behovet for komponenter som trykregulatorer og omformere.
Industri, hele landet
Flowcontrol og trykregulering
Produktchef og Intern Sælger, Proces
Har du har brug for hjælp? Kontakt os: