Brooks Instruments GP200 differenstrykbaseret Mass Flow Controller med et unikt teknisk design, der overvinder de eksisterende begrænsninger i de nuværende trykbaserede Mass Flow Controller, muliggør en meget nøjagtig gasflow gennem processen under varierende forhold. GP200-serien er den første fuldt trykuafhængige trykbaserede Mass Flow Controller fra Brooks (P-MFC), der er designet specielt til avancerede ætsnings- og aflejringsprocesser inden for semiconductorindustrien.
Produktnyheder
Fordi GP200-serien af Mass Flow Controller understøtter et meget bredt spektrum af procesbetingelser, kan den bruges som en drop-in erstatning og opgradering for mange traditionelle P-MFC'er og termiske MFC'er. Den reducerer kompleksiteten og omkostningerne af gasflowsystemet, da den eliminerer behovet for komponenter som trykregulatorer og omformere.
Food/Pharma, Sjælland/Fyn. Industry, Danmark
Flowcontrol og trykregulering
Produktchef og Intern Sælger, Proces
Har du har brug for hjælp? Kontakt os: