BROOKS INSTRUMENT

Ultra Høj Renhed, Display, Solcelle, Laboratorium, Semiconductor

Metaltætnet Mass Flow Controller og Meter - MFC/MFM - GF100 Serien

Brooks GF100, GF120 og GF125 er en serie præcise og stabile termiske masseflowcontrollere og -målere. De kan bruges til stort set alle typer gas og udmærker sig ved, nemt at kunne omstilles til nye gasser/nyt måleområde uden at fjerne instrumentet fra proceslinien og uden ny kalibrering. Metaltætningen giver en hurtig responstid og høj repeterbarhed og gør at serien performer bedre end det kræves i de gængse industristandarder.

GF-serien kommer med et brugervenligt display og kan kommunikere fx. via RS485 eller DeviceNet.

 

Kan med fordel anvendes i semiconductor industrien, MOCVD og applikationer, hvor polymere tætninger er uønskede.

 

NB: Dette produkt er blot basen og findes i mange variationer alt efter deres anvendelse. Se teknisk dokument længere nede for varianter og tag fat i os for at få vejledning til at finde det helt rigtige produkt til jeres behov.

 

 

  • Til alle gastyper op til 35 bar standard - high flow 6 bar - dog max 50°C
  • Ultra-High Purity - Ultra renrum - Metaltætning overfladeruhed
  • Full-scale flowområder op til 300 sl/min (ref. N2)
  • Gas- og flowområde ændres via serviceport uden at tage instrumentet ud af proceslinien
  • Høj nøjagtighed, stabilitet og responstid

Udvalgt variant

Udvalgt variant

Specifikationer

Funktion Mass flow controller, Mass flow meter
Flow 55 - 300 ln/min
Trykområde max 55 bar
Analog output 0-5 Vdc
Digital output DeviceNet, RS485-L
Temperaturområde fra 10 °C
Temperaturområde til 50 °C
Overfladeruhed 10 µm Ra
Materiale medieberørte del Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
Differenstryk 30-90 psid
Normalt lukkede ventiler åbner ved < 2%F.S
Display Ja, Top Mount Integrated LCD
Datakommunikation RS485, DeviceNet
Normalt åbne ventiler lukker ved N/A
Multiflow Standard
Temperaturkoefficient Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
Gentagelsesnøjagtighed <±0.15% S.P.
Diagnostik/serviceport RS-485 via 2.5mm jack
Tilslutning 1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
Linearitet ± 0.5% F.S.
Medietemperatur fra 10 °C
Lækrate 1x10-10 atm. cc/sec He
Trykkoefficient N/A
Forsyning DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
Laveste flow 55 ln/min
Alarm Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
Responstid <1 s
Nøjagtighed +1% S.P. > 35-100%, +0.35%
Nulpunktsdrift < + 0.5% F.S
Tryk 10 bar
Medietemperatur til 50 °C
Sprængtryk 206 bar
Certifikater EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
Statusindikering MFC Health, Network Status
Ventil type NC
Elektrisk tilslutning RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
Displayvisning Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
Reguleringsområde 5-100% (Normally Closed Valve)

Produktbeskrivelse

Brooks GF100, GF120 og GF125 er en serie præcise og stabile termiske masseflowcontrollere og -målere. De kan bruges til stort set alle typer gas og udmærker sig ved, nemt at kunne omstilles til nye gasser/nyt måleområde uden at fjerne instrumentet fra proceslinien og uden ny kalibrering. Metaltætningen giver en hurtig responstid og høj repeterbarhed og gør at serien performer bedre end det kræves i de gængse industristandarder.

GF-serien kommer med et brugervenligt display og kan kommunikere fx. via RS485 eller DeviceNet.

 

Kan med fordel anvendes i semiconductor industrien, MOCVD og applikationer, hvor polymere tætninger er uønskede.

 

NB: Dette produkt er blot basen og findes i mange variationer alt efter deres anvendelse. Se teknisk dokument længere nede for varianter og tag fat i os for at få vejledning til at finde det helt rigtige produkt til jeres behov.

 

 

Bestillingsinformation

OBS ! Den viste pris er kun for "basic" enheden

Kontakt vores produktspecialist for at finde den mest optimale løsning til dit behov.

 

Tilbehør

Relaterede produkter

Senseca opkober to virksomheder_front
Produktnyheder

Senseca styrker sin position med strategiske opkøb

Senseca styrker sin position med opkøbet af Biral og Geonica, der bringer ekspertise inden for miljømåling og sensorteknologi. Dette strategiske skridt kombinerer avanceret teknologi og bæredygtige løsninger til Smart City-udvikling, vedvarende energi og præcisionsmålinger.

Ajour messe 2024
Virksomhedsnyt

Mød os på Ajour

Vi glæder os til at deltage på Ajour-messen i Odense Congres Center den 28.-29. november. Hvis du er interesseret i at deltage en af dagene, så kan du kontakte os for en gratis billet.

Spild af trykluft
Tips og guides

Sådan undgår du spild af trykluft i pneumatiske systemer

Optimer jeres luftforbrug og reducer både energiforbrug og CO2-udledning med Emerson Aventics AF2 flowsensor. Denne intelligente sensor overvåger trykluftsflowet i realtid, opdager lækager og hjælper med at forbedre produktionsflowet. Med præcis dataindsamling gør den det nemt at træffe bedre beslutninger, reducere spild og sikre en mere bæredygtig drift.

Lær mere om magnetventiler
Tips og guides

Lær mere om magnetventiler

Ved dimensionering af magnetventiler er det vigtigt at overveje både fysiske og funktionsmæssige parametre, som rørdimensioner, medie, tryk, temperatur og flow. Her beskrives de forskellige funktionsparametre for at skabe en dybere forståelse af processen.

Definox ID App
Produktnyheder

Optimér vedligeholdelsen af dine ventiler

Definox AR-app gør ventilvedligeholdelse enkel ved hjælp af QR-koder, der giver adgang til logbøger, dokumenter og videovejledninger. Planlæg vedligeholdelse, øg produktiviteten, forbedr sikkerheden og reducer fejl med en intuitiv løsning, der hjælper dig trin for trin.

Vores Aarhusafdeling flytter
Virksomhedsnyt

Vores Århuskontor flytter til større lokaler

Vi glæder os til mere plads til os og fremtidige kollegaer på Agro Food Park 26

Favoritter Artikler Funktion Flow Trykområde max Analog output Digital output Temperaturområde fra Temperaturområde til Overfladeruhed Materiale medieberørte del Differenstryk Normalt lukkede ventiler åbner ved Display Datakommunikation Normalt åbne ventiler lukker ved Multiflow Temperaturkoefficient Gentagelsesnøjagtighed Diagnostik/serviceport Tilslutning Linearitet Medietemperatur fra Lækrate Trykkoefficient Forsyning Laveste flow Alarm Responstid Nøjagtighed Nulpunktsdrift Tryk Sprængtryk Certifikater Statusindikering Ventil type Elektrisk tilslutning Displayvisning Reguleringsområde Pris
Mass flow controller, Mass flow meter
55 - 300 ln/min
55 bar
0-5 Vdc
DeviceNet, RS485-L
10 °C
50 °C
10 µm Ra
Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
30-90 psid
< 2%F.S
Ja, Top Mount Integrated LCD
RS485, DeviceNet
N/A
Standard
Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
<±0.15% S.P.
RS-485 via 2.5mm jack
1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
± 0.5% F.S.
10 °C
1x10-10 atm. cc/sec He
N/A
DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
55 ln/min
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
<1 s
+1% S.P. > 35-100%, +0.35%
< + 0.5% F.S
10 bar
206 bar
EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
MFC Health, Network Status
NC
RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
5-100% (Normally Closed Valve)
34,5 bar
<1 s
Mass flow controller, Mass flow meter
0.004 - 0.025 ln/min
34,5 bar
0-5 Vdc
DeviceNet, RS485-L
10 °C
50 °C
5 µm Ra
Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
10 Torr-30 psid typical (1.33-207 kPa typical)
<1%F.S
Ja, Top Mount Integrated LCD
RS485, DeviceNet
< 2%F.S
Standard
Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
<±0.15% S.P.
RS-485 via 2.5mm jack
1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
± 0.5% F.S.
10 °C
1x10-10 atm. cc/sec He
N/A
DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
0.004 ln/min
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
<3 s
+1% S.P. > 35-100%, +0.35%
< + 0.5% F.S
34 bar
34 bar
EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
MFC Health, Network Status
NC/NO
RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
Mass flow controller, Mass flow meter
> 0.025 - 55 ln/min
34,5 bar
0-5 Vdc
DeviceNet, RS485-L
10 °C
50 °C
5 µm Ra
Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
10 Torr-30 psid typical (1.33-207 kPa typical)
<1%F.S
Ja, Top Mount Integrated LCD
RS485, DeviceNet
< 2%F.S
Standard
Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
<±0.15% S.P.
RS-485 via 2.5mm jack
1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
± 0.5% F.S.
10 °C
1x10-10 atm. cc/sec He
N/A
DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
> 0.025 ln/min
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
<3 s
+1% S.P. > 35-100%, +0.35%
< + 0.5% F.S
34 bar
34 bar
EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
MFC Health, Network Status
NC/NO
RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
Mass flow controller, Mass flow meter
55 - 300 ln/min
48 bar
0-5 Vdc
DeviceNet, RS485-L
10 °C
50 °C
5 µm Ra
Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
30-90 psid
< 2%F.S
Ja, Top Mount Integrated LCD
RS485, DeviceNet
N/A
Standard
Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
<±0.15% S.P.
RS-485 via 2.5mm jack
1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
± 0.5% F.S.
10 °C
1x10-10 atm. cc/sec He
N/A
DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
55 ln/min
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
<1 s
+1% S.P. > 35-100%, +0.35%
< + 0.5% F.S
10 bar
206 bar
EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
MFC Health, Network Status
NC
RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
5-100% (Normally Closed Valve)
10 bar
<1 ,5s
Mass flow controller, Mass flow meter
55 - 300 ln/min
11 bar
0-5 Vdc
DeviceNet, RS485-L
10 °C
50 °C
5 µm Ra
Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
30-90 psid
< 2%F.S
Ja, Top Mount Integrated LCD
RS485, DeviceNet
N/A
Standard
Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
<±0.15% S.P.
RS-485 via 2.5mm jack
1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
± 0.5% F.S.
10 °C
1x10-10 atm. cc/sec He
N/A
DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
55 ln/min
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
<1 s
+1% S.P. > 35-100%, +0.35%
< + 0.5% F.S
10 bar
34 bar
EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
MFC Health, Network Status
NC
RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
5-100% (Normally Closed Valve)

Udvalgt variant

Vælg en variant på listen

Teknisk rådgivning

Nicholas Haslund

Kundeservice
Har du har brug for hjælp? Kontakt os:
Har du brug for hjælp? Klik her!
Logo

COOKIE-INDSTILLINGER FOR OEMKLITSO.DK

Cookies hjælper os med at forbedre din oplevelse med os. Så for at kunne analysere trafikken, håndtere loginoplysninger, tilbyde dig personlige oplysninger og for at grundlæggende funktionalitet kan fungere på webssitet, skal vi bruge nogle cookies.

NØDVENDIGE COOKIES

Disse cookies er nødvendige for, at webstedet fungerer og kan ikke slås fra i vores systemer. De bruges normalt kun som reaktion på handlinger, du har foretaget i forbindelse med en serviceanmodning, f.eks. Når du angiver personlige præferencer, logger ind eller udfylder en formular.

ANALYSE OG MÅLING

Disse cookies giver os mulighed for at tælle antallet af besøg og trafikkilder, så vi kan måle og forbedre vores websteds ydeevne. De hjælper os med at vide, hvilke sider der er mere eller mindre populære, og hvordan besøgende navigerer rundt på webstedet. De oplysninger, som disse cookies indsamler, er aggregerede og derfor helt anonyme. Hvis du ikke tillader disse cookies, ved vi ikke, hvornår du har besøgt vores websted.

MARKEDSFØRING

Disse cookies kan tilføjes af vores partnere. De kan bruge dem til at oprette en profil af dig baseret på dine interesser for at vise dig mere relevante oplysninger. De gemmer ingen personlige oplysninger - kun oplysninger om din browser og enhed. Hvis du ikke accepterer disse cookies, får du en mere generel og mindre tilpasset brugeroplevelse.