BROOKS INSTRUMENT

Ultra Høj Renhed, Display, Solcelle, Laboratorium, Semiconductor

Metaltætnet Mass Flow Controller og Meter - MFC/MFM - GF100 Serien

Brooks GF100, GF120 og GF125 er en serie præcise og stabile termiske masseflowcontrollere og -målere. De kan bruges til stort set alle typer gas og udmærker sig ved, nemt at kunne omstilles til nye gasser/nyt måleområde uden at fjerne instrumentet fra proceslinien og uden ny kalibrering. Metaltætningen giver en hurtig responstid og høj repeterbarhed og gør at serien performer bedre end det kræves i de gængse industristandarder.

GF-serien kommer med et brugervenligt display og kan kommunikere fx. via RS485 eller DeviceNet.

 

Kan med fordel anvendes i semiconductor industrien, MOCVD og applikationer, hvor polymere tætninger er uønskede.

 

NB: Dette produkt er blot basen og findes i mange variationer alt efter deres anvendelse. Se teknisk dokument længere nede for varianter og tag fat i os for at få vejledning til at finde det helt rigtige produkt til jeres behov.

 

 

  • Til alle gastyper op til 35 bar standard - high flow 6 bar - dog max 50°C
  • Ultra-High Purity - Ultra renrum - Metaltætning overfladeruhed
  • Full-scale flowområder op til 300 sl/min (ref. N2)
  • Gas- og flowområde ændres via serviceport uden at tage instrumentet ud af proceslinien
  • Høj nøjagtighed, stabilitet og responstid

Udvalgt variant

Udvalgt variant

Specifikationer

Funktion Mass flow controller, Mass flow meter
Flow 55 - 300 ln/min
Trykområde max 55 bar
Analog output 0-5 Vdc
Digital output DeviceNet, RS485-L
Temperaturområde fra 10 °C
Temperaturområde til 50 °C
Overfladeruhed 10 µm Ra
Materiale medieberørte del Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
Differenstryk 30-90 psid
Normalt lukkede ventiler åbner ved < 2%F.S
Display Ja, Top Mount Integrated LCD
Datakommunikation RS485, DeviceNet
Normalt åbne ventiler lukker ved N/A
Multiflow Standard
Temperaturkoefficient Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
Gentagelsesnøjagtighed <±0.15% S.P.
Diagnostik/serviceport RS-485 via 2.5mm jack
Tilslutning 1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
Linearitet ± 0.5% F.S.
Medietemperatur fra 10 °C
Lækrate 1x10-10 atm. cc/sec He
Trykkoefficient N/A
Forsyning DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
Laveste flow 55 ln/min
Alarm Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
Responstid <1 s
Nøjagtighed +1% S.P. > 35-100%, +0.35%
Nulpunktsdrift < + 0.5% F.S
Tryk 10 bar
Medietemperatur til 50 °C
Sprængtryk 206 bar
Certifikater EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
Statusindikering MFC Health, Network Status
Ventil type NC
Elektrisk tilslutning RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
Displayvisning Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
Reguleringsområde 5-100% (Normally Closed Valve)

Produktbeskrivelse

Brooks GF100, GF120 og GF125 er en serie præcise og stabile termiske masseflowcontrollere og -målere. De kan bruges til stort set alle typer gas og udmærker sig ved, nemt at kunne omstilles til nye gasser/nyt måleområde uden at fjerne instrumentet fra proceslinien og uden ny kalibrering. Metaltætningen giver en hurtig responstid og høj repeterbarhed og gør at serien performer bedre end det kræves i de gængse industristandarder.

GF-serien kommer med et brugervenligt display og kan kommunikere fx. via RS485 eller DeviceNet.

 

Kan med fordel anvendes i semiconductor industrien, MOCVD og applikationer, hvor polymere tætninger er uønskede.

 

NB: Dette produkt er blot basen og findes i mange variationer alt efter deres anvendelse. Se teknisk dokument længere nede for varianter og tag fat i os for at få vejledning til at finde det helt rigtige produkt til jeres behov.

 

 

Bestillingsinformation

OBS ! Den viste pris er kun for "basic" enheden

Kontakt vores produktspecialist for at finde den mest optimale løsning til dit behov.

 

Tilbehør

Relaterede produkter

Foodtech 2024
Virksomhedsnyt

Mød os på Foodtech

Vi glæder os til at deltage på årets Foodtech-messe, der finder sted den 1.-3. oktober i Herning. Som altid, giver vi gratis billetter til vores kunder. Så hvis du er interesseret i at møde os på messen, så skriv endelig til din kontaktperson.

Automatik messe
Virksomhedsnyt

Mød os på automatik-messen i september

Vi glæder os til, igen i år, at deltage på årets Automatik-messe, der finder sted den 10.-12. september i Brøndby. Og som altid giver vi gratis billetter til vores kunder. Så hvis du er interesseret i at møde os på messen, så skriv endelig til din kontaktperson.

Mass flow controllere og målere
Produktnyheder

Tilbud til universiteter på mass flow controllere og målere fra Brooks Instruments

I samarbejde med Brooks Instruments tilbyder vi rabatter til universiteter på bestemte produkter.

Wika opdaterer deres design
Produktnyheder

Wika løfter sporbarheden (og genkendeligheden) på deres produkter

Fra i dag, den 1. juli 2024, vil du kunne købe termometre og manometre i rustfrit stål fra Wika som har to nye, og hjælpsomme, features.

All-flo Membran
Produktnyheder

All-Flo introducerer ny og forbedret membran til AODD pumper

All-Flo har lanceret deres nye BUNALAST™ membran som erstatning for GEOLAST® membraner til A Serien, C Serien og S Serien (MAX-PASS) AODD pumper.

Bæredygtighed

Pigging systemer fra LIAG og Definox mindsker spild og optimerer CIP processen

I den moderne fødevareproduktion er effektivitet og bæredygtighed nøgleord. Et af de innovative redskaber, der hjælper producenter med at opnå disse mål, er pigging-systemer fra LIAG og Definox. Disse systemer er designet til at forbedre produktionsprocessen og samtidig minimere spild.

Favoritter Artikler Funktion Flow Trykområde max Analog output Digital output Temperaturområde fra Temperaturområde til Overfladeruhed Materiale medieberørte del Differenstryk Normalt lukkede ventiler åbner ved Display Datakommunikation Normalt åbne ventiler lukker ved Multiflow Temperaturkoefficient Gentagelsesnøjagtighed Diagnostik/serviceport Tilslutning Linearitet Medietemperatur fra Lækrate Trykkoefficient Forsyning Laveste flow Alarm Responstid Nøjagtighed Nulpunktsdrift Tryk Sprængtryk Certifikater Statusindikering Ventil type Elektrisk tilslutning Displayvisning Reguleringsområde Pris
Mass flow controller, Mass flow meter
55 - 300 ln/min
55 bar
0-5 Vdc
DeviceNet, RS485-L
10 °C
50 °C
10 µm Ra
Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
30-90 psid
< 2%F.S
Ja, Top Mount Integrated LCD
RS485, DeviceNet
N/A
Standard
Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
<±0.15% S.P.
RS-485 via 2.5mm jack
1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
± 0.5% F.S.
10 °C
1x10-10 atm. cc/sec He
N/A
DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
55 ln/min
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
<1 s
+1% S.P. > 35-100%, +0.35%
< + 0.5% F.S
10 bar
206 bar
EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
MFC Health, Network Status
NC
RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
5-100% (Normally Closed Valve)
34,5 bar
<1 s
Mass flow controller, Mass flow meter
0.004 - 0.025 ln/min
34,5 bar
0-5 Vdc
DeviceNet, RS485-L
10 °C
50 °C
5 µm Ra
Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
10 Torr-30 psid typical (1.33-207 kPa typical)
<1%F.S
Ja, Top Mount Integrated LCD
RS485, DeviceNet
< 2%F.S
Standard
Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
<±0.15% S.P.
RS-485 via 2.5mm jack
1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
± 0.5% F.S.
10 °C
1x10-10 atm. cc/sec He
N/A
DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
0.004 ln/min
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
<3 s
+1% S.P. > 35-100%, +0.35%
< + 0.5% F.S
34 bar
34 bar
EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
MFC Health, Network Status
NC/NO
RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
Mass flow controller, Mass flow meter
> 0.025 - 55 ln/min
34,5 bar
0-5 Vdc
DeviceNet, RS485-L
10 °C
50 °C
5 µm Ra
Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
10 Torr-30 psid typical (1.33-207 kPa typical)
<1%F.S
Ja, Top Mount Integrated LCD
RS485, DeviceNet
< 2%F.S
Standard
Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
<±0.15% S.P.
RS-485 via 2.5mm jack
1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
± 0.5% F.S.
10 °C
1x10-10 atm. cc/sec He
N/A
DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
> 0.025 ln/min
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
<3 s
+1% S.P. > 35-100%, +0.35%
< + 0.5% F.S
34 bar
34 bar
EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
MFC Health, Network Status
NC/NO
RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
Mass flow controller, Mass flow meter
55 - 300 ln/min
48 bar
0-5 Vdc
DeviceNet, RS485-L
10 °C
50 °C
5 µm Ra
Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
30-90 psid
< 2%F.S
Ja, Top Mount Integrated LCD
RS485, DeviceNet
N/A
Standard
Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
<±0.15% S.P.
RS-485 via 2.5mm jack
1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
± 0.5% F.S.
10 °C
1x10-10 atm. cc/sec He
N/A
DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
55 ln/min
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
<1 s
+1% S.P. > 35-100%, +0.35%
< + 0.5% F.S
10 bar
206 bar
EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
MFC Health, Network Status
NC
RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
5-100% (Normally Closed Valve)
10 bar
<1 ,5s
Mass flow controller, Mass flow meter
55 - 300 ln/min
11 bar
0-5 Vdc
DeviceNet, RS485-L
10 °C
50 °C
5 µm Ra
Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
30-90 psid
< 2%F.S
Ja, Top Mount Integrated LCD
RS485, DeviceNet
N/A
Standard
Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
<±0.15% S.P.
RS-485 via 2.5mm jack
1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
± 0.5% F.S.
10 °C
1x10-10 atm. cc/sec He
N/A
DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
55 ln/min
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
<1 s
+1% S.P. > 35-100%, +0.35%
< + 0.5% F.S
10 bar
34 bar
EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
MFC Health, Network Status
NC
RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
5-100% (Normally Closed Valve)

Udvalgt variant

Vælg en variant på listen

Teknisk rådgivning
Nicholas Haslund

Produktchef og Intern Sælger, Proces

+4548106402 48 10 64 02

Send e-mail Send e-mail

Kundeservice

Har du har brug for hjælp? Kontakt os:

phone 70 10 64 00

Send e-mail Send e-mail