BROOKS INSTRUMENT

Ultra Høj Renhed, Display, Solcelle, Laboratorium, Semiconductor

Metaltætnet Mass Flow Controller og Meter - MFC/MFM - GF100 Serien

Brooks GF100, GF120 og GF125 er en serie præcise og stabile termiske masseflowcontrollere og -målere. De kan bruges til stort set alle typer gas og udmærker sig ved, nemt at kunne omstilles til nye gasser/nyt måleområde uden at fjerne instrumentet fra proceslinien og uden ny kalibrering. Metaltætningen giver en hurtig responstid og høj repeterbarhed og gør at serien performer bedre end det kræves i de gængse industristandarder.

GF-serien kommer med et brugervenligt display og kan kommunikere fx. via RS485 eller DeviceNet.

 

Kan med fordel anvendes i semiconductor industrien, MOCVD og applikationer, hvor polymere tætninger er uønskede.

 

NB: Dette produkt er blot basen og findes i mange variationer alt efter deres anvendelse. Se teknisk dokument længere nede for varianter og tag fat i os for at få vejledning til at finde det helt rigtige produkt til jeres behov.

 

 

  • Til alle gastyper op til 35 bar standard - high flow 6 bar - dog max 50°C
  • Ultra-High Purity - Ultra renrum - Metaltætning overfladeruhed
  • Full-scale flowområder op til 300 sl/min (ref. N2)
  • Gas- og flowområde ændres via serviceport uden at tage instrumentet ud af proceslinien
  • Høj nøjagtighed, stabilitet og responstid

Udvalgt variant

Udvalgt variant

Specifikationer

Alarm Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
Analog output 0-5 Vdc
Certifikater EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
Datakommunikation RS485, DeviceNet
Diagnostik/serviceport RS-485 via 2.5mm jack
Differenstryk 30-90 psid
Digital output DeviceNet, RS485-L
Display Ja, Top Mount Integrated LCD
Displayvisning Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
Elektrisk tilslutning RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
Flow 55 - 300 ln/min
Forsyning DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
Funktion Mass flow controller, Mass flow meter
Gentagelsesnøjagtighed <±0.15% S.P.
Lækrate 1x10-10 atm. cc/sec He
Laveste flow 55 ln/min
Linearitet ± 0.5% F.S.
Materiale medieberørte del Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
Medietemperatur fra 10 °C
Medietemperatur til 50 °C
Multiflow Standard
Normalt lukkede ventiler åbner ved < 2%F.S
Normalt åbne ventiler lukker ved N/A
Nulpunktsdrift < + 0.5% F.S
Nøjagtighed +1% S.P. > 35-100%, +0.35%
Overfladeruhed 10 µm Ra
Reguleringsområde 5-100% (Normally Closed Valve)
Responstid <1 s
Sprængtryk 206 bar
Statusindikering MFC Health, Network Status
Temperaturkoefficient Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
Temperaturområde fra 10 °C
Temperaturområde til 50 °C
Tilslutning 1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
Tryk 10 bar
Trykkoefficient N/A
Trykområde max 55 bar
Ventil type NC

Produktbeskrivelse

Brooks GF100, GF120 og GF125 er en serie præcise og stabile termiske masseflowcontrollere og -målere. De kan bruges til stort set alle typer gas og udmærker sig ved, nemt at kunne omstilles til nye gasser/nyt måleområde uden at fjerne instrumentet fra proceslinien og uden ny kalibrering. Metaltætningen giver en hurtig responstid og høj repeterbarhed og gør at serien performer bedre end det kræves i de gængse industristandarder.

GF-serien kommer med et brugervenligt display og kan kommunikere fx. via RS485 eller DeviceNet.

 

Kan med fordel anvendes i semiconductor industrien, MOCVD og applikationer, hvor polymere tætninger er uønskede.

 

NB: Dette produkt er blot basen og findes i mange variationer alt efter deres anvendelse. Se teknisk dokument længere nede for varianter og tag fat i os for at få vejledning til at finde det helt rigtige produkt til jeres behov.

 

 

Bestillingsinformation

OBS ! Den viste pris er kun for "basic" enheden

Kontakt vores produktspecialist for at finde den mest optimale løsning til dit behov.

 

Tilbehør

Relaterede produkter

Omniplus listing image
Produktnyheder

OMNIPLUS – Velafprøvet måleteknologi møder IO-Link

OMNIPLUS-transmitteren fra Senseca kombinerer velafprøvet måleteknologi med et intelligent IO-Link-interface, hvilket åbner døren for forbedret processtyring, øget effektivitet og større fleksibilitet i dine applikationer. Med et robust hus i rustfrit stål og en front i ridsefast mineralglas er OMNIPLUS både holdbar og pålidelig. Det standardiserede IO-Link-interface sikrer problemfri digital kommunikation, hvilket giver dig præcise data og pålidelige måleresultater – perfekt til optimal flowmåling.

Tilpassede tankdæksler listing
Produktnyheder

Kundetilpassede tankdæksler/mandehuller i rustfri og syrefast stål

Har I brug for et tankdæksel eller tanklåg, der opfylder specifikke krav? Så er I kommet til det rigtige sted. Hos OEM Automatic Klitsø samarbejder vi med den tyske producent Zimmerlin for at kunne tilbyde kundetilpassede tankdæksler og tanklåg i rustfrit og syrefast stål – velegnede til både indendørs og udendørs miljøer.

Zimmerlin er en erfaren og innovativ producent med høj teknisk ekspertise og stort fokus på kvalitet og kundeønsker. Uanset om I søger en standardløsning eller har behov for en specialdesignet konstruktion, er de – og vi – en pålidelig partner gennem hele processen.

Auer Smart Signal_Portraet
Produktnyheder

Næste niveau af industriel varsling

En ny produktserie fra Auer Signal lanceres i løbet af 2025, og de første modeller er nu klar til markedet. Serien er kendetegnet ved høj ydeevne, fleksibilitet og smarte funktioner – alt samlet i et moderne og robust design.

kalibrering af vejecelle
Virksomhedsnyt

Få din vejecelle kalibreret og klar til brug

Vi har nu mulighed for at tilbyde kalibrering og indstilling af vejeceller efter dine ønsker og behov. En service, der tidligere udelukkende blev udført af WIKA i Tyskland, men som vi i dag tilbyder via vores svenske forædlingsafdeling.

Tips og guides

Undgå farlige situationer – vælg et trådløst låsesystem fra Castell

Beskyt dig selv og dine kolleger med markedets mest pålidelige mekaniske låsesystem. Castells systemer er udviklet til applikationer, hvor der stilles høje krav til sikkerhed – typisk i miljøer med høj risiko, som f.eks. betonblandere, robotceller og produktionsanlæg.

EU stiller krav til danske renseanlæg

Det nye 4. rensetrin skal sikre fjernelse af vanskeligt nedbrydelige stoffer som PFAS og medicinrester – og det stiller høje krav til både teknologi, dokumentation og driftssikkerhed.

Favoritter Artikler Alarm Analog output Certifikater Datakommunikation Diagnostik/serviceport Differenstryk Digital output Display Displayvisning Elektrisk tilslutning Flow Forsyning Funktion Gentagelsesnøjagtighed Lækrate Laveste flow Linearitet Materiale medieberørte del Medietemperatur fra Multiflow Normalt lukkede ventiler åbner ved Normalt åbne ventiler lukker ved Nulpunktsdrift Nøjagtighed Overfladeruhed Reguleringsområde Responstid Sprængtryk Statusindikering Temperaturkoefficient Temperaturområde fra Temperaturområde til Tilslutning Tryk Trykkoefficient Trykområde max Ventil type Pris
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
0-5 Vdc
EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
RS485, DeviceNet
RS-485 via 2.5mm jack
30-90 psid
DeviceNet, RS485-L
Ja, Top Mount Integrated LCD
Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
55 - 300 ln/min
DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
Mass flow controller, Mass flow meter
<±0.15% S.P.
1x10-10 atm. cc/sec He
55 ln/min
± 0.5% F.S.
Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
10 °C
Standard
< 2%F.S
N/A
< + 0.5% F.S
+1% S.P. > 35-100%, +0.35%
10 µm Ra
5-100% (Normally Closed Valve)
<1 s
206 bar
MFC Health, Network Status
Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
10 °C
50 °C
1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
10 bar
N/A
55 bar
NC
<1 s
34,5 bar
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
0-5 Vdc
EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
RS485, DeviceNet
RS-485 via 2.5mm jack
10 Torr-30 psid typical (1.33-207 kPa typical)
DeviceNet, RS485-L
Ja, Top Mount Integrated LCD
Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
0.004 - 0.025 ln/min
DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
Mass flow controller, Mass flow meter
<±0.15% S.P.
1x10-10 atm. cc/sec He
0.004 ln/min
± 0.5% F.S.
Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
10 °C
Standard
<1%F.S
< 2%F.S
< + 0.5% F.S
+1% S.P. > 35-100%, +0.35%
5 µm Ra
2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
<3 s
34 bar
MFC Health, Network Status
Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
10 °C
50 °C
1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
34 bar
N/A
34,5 bar
NC/NO
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
0-5 Vdc
EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
RS485, DeviceNet
RS-485 via 2.5mm jack
10 Torr-30 psid typical (1.33-207 kPa typical)
DeviceNet, RS485-L
Ja, Top Mount Integrated LCD
Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
> 0.025 - 55 ln/min
DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
Mass flow controller, Mass flow meter
<±0.15% S.P.
1x10-10 atm. cc/sec He
> 0.025 ln/min
± 0.5% F.S.
Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
10 °C
Standard
<1%F.S
< 2%F.S
< + 0.5% F.S
+1% S.P. > 35-100%, +0.35%
5 µm Ra
2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
<3 s
34 bar
MFC Health, Network Status
Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
10 °C
50 °C
1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
34 bar
N/A
34,5 bar
NC/NO
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
0-5 Vdc
EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
RS485, DeviceNet
RS-485 via 2.5mm jack
30-90 psid
DeviceNet, RS485-L
Ja, Top Mount Integrated LCD
Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
55 - 300 ln/min
DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
Mass flow controller, Mass flow meter
<±0.15% S.P.
1x10-10 atm. cc/sec He
55 ln/min
± 0.5% F.S.
Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
10 °C
Standard
< 2%F.S
N/A
< + 0.5% F.S
+1% S.P. > 35-100%, +0.35%
5 µm Ra
5-100% (Normally Closed Valve)
<1 s
206 bar
MFC Health, Network Status
Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
10 °C
50 °C
1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
10 bar
N/A
48 bar
NC
<1 ,5s
10 bar
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
0-5 Vdc
EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
RS485, DeviceNet
RS-485 via 2.5mm jack
30-90 psid
DeviceNet, RS485-L
Ja, Top Mount Integrated LCD
Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
55 - 300 ln/min
DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
Mass flow controller, Mass flow meter
<±0.15% S.P.
1x10-10 atm. cc/sec He
55 ln/min
± 0.5% F.S.
Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
10 °C
Standard
< 2%F.S
N/A
< + 0.5% F.S
+1% S.P. > 35-100%, +0.35%
5 µm Ra
5-100% (Normally Closed Valve)
<1 s
34 bar
MFC Health, Network Status
Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
10 °C
50 °C
1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
10 bar
N/A
11 bar
NC

Udvalgt variant

Vælg en variant på listen

Teknisk rådgivning

Nicholas Haslund

Kundeservice
Har du har brug for hjælp? Kontakt os:
Har du brug for hjælp? Klik her!
Logo

COOKIE-INDSTILLINGER FOR OEMKLITSO.DK

Cookies hjælper os med at forbedre din oplevelse med os. Så for at kunne analysere trafikken, håndtere loginoplysninger, tilbyde dig personlige oplysninger og for at grundlæggende funktionalitet kan fungere på webssitet, skal vi bruge nogle cookies.

NØDVENDIGE COOKIES

Disse cookies er nødvendige for, at webstedet fungerer og kan ikke slås fra i vores systemer. De bruges normalt kun som reaktion på handlinger, du har foretaget i forbindelse med en serviceanmodning, f.eks. Når du angiver personlige præferencer, logger ind eller udfylder en formular.

ANALYSE OG MÅLING

Disse cookies giver os mulighed for at tælle antallet af besøg og trafikkilder, så vi kan måle og forbedre vores websteds ydeevne. De hjælper os med at vide, hvilke sider der er mere eller mindre populære, og hvordan besøgende navigerer rundt på webstedet. De oplysninger, som disse cookies indsamler, er aggregerede og derfor helt anonyme. Hvis du ikke tillader disse cookies, ved vi ikke, hvornår du har besøgt vores websted.

MARKEDSFØRING

Disse cookies kan tilføjes af vores partnere. De kan bruge dem til at oprette en profil af dig baseret på dine interesser for at vise dig mere relevante oplysninger. De gemmer ingen personlige oplysninger - kun oplysninger om din browser og enhed. Hvis du ikke accepterer disse cookies, får du en mere generel og mindre tilpasset brugeroplevelse.