BROOKS INSTRUMENT

Ultra Høj Renhed, Display, Solcelle, Laboratorium, Semiconductor

Metaltætnet Mass Flow Controller og Meter - MFC/MFM - GF100 Serien

Brooks GF100, GF120 og GF125 er en serie præcise og stabile termiske masseflowcontrollere og -målere. De kan bruges til stort set alle typer gas og udmærker sig ved, nemt at kunne omstilles til nye gasser/nyt måleområde uden at fjerne instrumentet fra proceslinien og uden ny kalibrering. Metaltætningen giver en hurtig responstid og høj repeterbarhed og gør at serien performer bedre end det kræves i de gængse industristandarder.

GF-serien kommer med et brugervenligt display og kan kommunikere fx. via RS485 eller DeviceNet.

 

Kan med fordel anvendes i semiconductor industrien, MOCVD og applikationer, hvor polymere tætninger er uønskede.

 

NB: Dette produkt er blot basen og findes i mange variationer alt efter deres anvendelse. Se teknisk dokument længere nede for varianter og tag fat i os for at få vejledning til at finde det helt rigtige produkt til jeres behov.

 

 

  • Til alle gastyper op til 35 bar standard - high flow 6 bar - dog max 50°C
  • Ultra-High Purity - Ultra renrum - Metaltætning overfladeruhed
  • Full-scale flowområder op til 300 sl/min (ref. N2)
  • Gas- og flowområde ændres via serviceport uden at tage instrumentet ud af proceslinien
  • Høj nøjagtighed, stabilitet og responstid

Udvalgt variant

Udvalgt variant

Specifikationer

Funktion Mass flow controller, Mass flow meter
Flow 55 - 300 ln/min
Trykområde max 55 bar
Analog output 0-5 Vdc
Digital output DeviceNet, RS485-L
Temperaturområde fra 10 °C
Temperaturområde til 50 °C
Overfladeruhed 10 µm Ra
Materiale medieberørte del Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316
Differenstryk 30-90 psid
Normalt lukkede ventiler åbner ved < 2%F.S
Display Ja, Top Mount Integrated LCD
Datakommunikation RS485, DeviceNet
Normalt åbne ventiler lukker ved N/A
Multiflow Standard
Temperaturkoefficient Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C
Gentagelsesnøjagtighed <±0.15% S.P.
Diagnostik/serviceport RS-485 via 2.5mm jack
Tilslutning 1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal
Linearitet ± 0.5% F.S.
Medietemperatur fra 10 °C
Lækrate 1x10-10 atm. cc/sec He
Trykkoefficient N/A
Forsyning DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc
Laveste flow 55 ln/min
Alarm Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
Responstid <1 s
Nøjagtighed +1% S.P. > 35-100%, +0.35%
Nulpunktsdrift < + 0.5% F.S
Tryk 10 bar
Medietemperatur til 50 °C
Sprængtryk 206 bar
Certifikater EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006
Statusindikering MFC Health, Network Status
Ventil type NC
Elektrisk tilslutning RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector
Displayvisning Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit)
Reguleringsområde 5-100% (Normally Closed Valve)

Produktbeskrivelse

Brooks GF100, GF120 og GF125 er en serie præcise og stabile termiske masseflowcontrollere og -målere. De kan bruges til stort set alle typer gas og udmærker sig ved, nemt at kunne omstilles til nye gasser/nyt måleområde uden at fjerne instrumentet fra proceslinien og uden ny kalibrering. Metaltætningen giver en hurtig responstid og høj repeterbarhed og gør at serien performer bedre end det kræves i de gængse industristandarder.

GF-serien kommer med et brugervenligt display og kan kommunikere fx. via RS485 eller DeviceNet.

 

Kan med fordel anvendes i semiconductor industrien, MOCVD og applikationer, hvor polymere tætninger er uønskede.

 

NB: Dette produkt er blot basen og findes i mange variationer alt efter deres anvendelse. Se teknisk dokument længere nede for varianter og tag fat i os for at få vejledning til at finde det helt rigtige produkt til jeres behov.

 

 

Bestillingsinformation

OBS ! Den viste pris er kun for "basic" enheden

Kontakt vores produktspecialist for at finde den mest optimale løsning til dit behov.

 

Tilbehør

Relaterede produkter

Kunde-case

Kundecase: Spectro Inlets benytter Brooks Mass Flow Controller og pressure controller

Brooks Instruments og OEM Automatic Klitsø blev valgt af Spectro Inlets til udvikling og production af instrumenter til massespektroskopi. Årsagen var mere tilfredstillende leveringstider og supply chain.

Produktnyheder

Skift din gamle Mass Flow Controller ud med rabat

Har du en gammel Mass Flow Controller liggende som trænger til at blive skiftet ud, så giver vi lige nu 25 % rabat på udskiftning af gamle Mass Flow Controller til nye fra Brooks Instrument.

Produktnyheder Bæredygtighed

Arbejder du med GREEN HYDROGEN? Vi har de sikre ventilløsninger til grøn hydrogenproduktion fra producenten Interapp

Green hydrogen er en af de mest miljøvenlige muligheder for at producere hydrogen, da processen drives af vedvarende energikilder som vind eller solenergi. Helt rene og ilt-egnede ventiler er afgørende for at garantere en sikker, effektiv og fejlfri drift af anlægget.

Produktnyheder

OEM Automatic Klitsø tilbyder specielle tilbud til alle universiteter i samarbejde med Brooks Instruments

Udstyr dit laboratorium med de bedste instrumenter og tilbehør til at levere præcise resultater og flytte din forskning fremad. Se nedenfor og vælg hvilket tilbud der passer bedst til dit behov.

Virksomhedsnyt

Mød os på Ajour - Erhvervskonference 2023 - maskinmestrenes messe - få gratis billetter hos OEM Automatic Klitsø

OEM Automatic Klitsø deltager i Ajour - Erhvervskonference 2023 arrangeret af Maskinmestrenes Forening - i Odense den 23.-24. november 2023. Udfyld formularen og få gratis billetter. Og hils på os i vores stand og få en snak om produkter og løsninger til din virksomhed.

Tips og guides

Hvorfor bruge et rotameter (Variable Area Flow Meter) til at måle gas- eller væskeflow

Vi giver her et lille overblik over de gode grunde til at bruge et rotameter.

Favoritter Artikler Funktion Flow Trykområde max Analog output Digital output Temperaturområde fra Temperaturområde til Overfladeruhed Materiale medieberørte del Differenstryk Normalt lukkede ventiler åbner ved Display Datakommunikation Normalt åbne ventiler lukker ved Multiflow Temperaturkoefficient Gentagelsesnøjagtighed Diagnostik/serviceport Tilslutning Linearitet Medietemperatur fra Lækrate Trykkoefficient Forsyning Laveste flow Alarm Responstid Nøjagtighed Nulpunktsdrift Tryk Sprængtryk Certifikater Statusindikering Ventil type Elektrisk tilslutning Displayvisning Reguleringsområde Pris
Mass flow controller, Mass flow meter 55 - 300 ln/min 55 bar 0-5 Vdc DeviceNet, RS485-L 10 °C 50 °C 10 µm Ra Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316 30-90 psid < 2%F.S Ja, Top Mount Integrated LCD RS485, DeviceNet N/A Standard Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C <±0.15% S.P. RS-485 via 2.5mm jack 1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal ± 0.5% F.S. 10 °C 1x10-10 atm. cc/sec He N/A DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc 55 ln/min Alarms: Control Valve Output & Network Interruption <1 s +1% S.P. > 35-100%, +0.35% < + 0.5% F.S 10 bar 206 bar EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006 MFC Health, Network Status NC RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit) 5-100% (Normally Closed Valve)
34,5 bar <1 s
Mass flow controller, Mass flow meter 0.004 - 0.025 ln/min 34,5 bar 0-5 Vdc DeviceNet, RS485-L 10 °C 50 °C 5 µm Ra Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316 10 Torr-30 psid typical (1.33-207 kPa typical) <1%F.S Ja, Top Mount Integrated LCD RS485, DeviceNet < 2%F.S Standard Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C <±0.15% S.P. RS-485 via 2.5mm jack 1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal ± 0.5% F.S. 10 °C 1x10-10 atm. cc/sec He N/A DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc 0.004 ln/min Alarms: Control Valve Output & Network Interruption <3 s +1% S.P. > 35-100%, +0.35% < + 0.5% F.S 34 bar 34 bar EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006 MFC Health, Network Status NC/NO RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit) 2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
Mass flow controller, Mass flow meter > 0.025 - 55 ln/min 34,5 bar 0-5 Vdc DeviceNet, RS485-L 10 °C 50 °C 5 µm Ra Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316 10 Torr-30 psid typical (1.33-207 kPa typical) <1%F.S Ja, Top Mount Integrated LCD RS485, DeviceNet < 2%F.S Standard Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C <±0.15% S.P. RS-485 via 2.5mm jack 1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal ± 0.5% F.S. 10 °C 1x10-10 atm. cc/sec He N/A DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc > 0.025 ln/min Alarms: Control Valve Output & Network Interruption <3 s +1% S.P. > 35-100%, +0.35% < + 0.5% F.S 34 bar 34 bar EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006 MFC Health, Network Status NC/NO RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit) 2-100 % (NC) 3-100 % (NO)
Mass flow controller, Mass flow meter 55 - 300 ln/min 48 bar 0-5 Vdc DeviceNet, RS485-L 10 °C 50 °C 5 µm Ra Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316 30-90 psid < 2%F.S Ja, Top Mount Integrated LCD RS485, DeviceNet N/A Standard Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C <±0.15% S.P. RS-485 via 2.5mm jack 1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal ± 0.5% F.S. 10 °C 1x10-10 atm. cc/sec He N/A DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc 55 ln/min Alarms: Control Valve Output & Network Interruption <1 s +1% S.P. > 35-100%, +0.35% < + 0.5% F.S 10 bar 206 bar EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006 MFC Health, Network Status NC RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit) 5-100% (Normally Closed Valve)
10 bar <1 ,5s
Mass flow controller, Mass flow meter 55 - 300 ln/min 11 bar 0-5 Vdc DeviceNet, RS485-L 10 °C 50 °C 5 µm Ra Hastelloy, Rustfrit stål 304, Rustfrit stål 316 30-90 psid < 2%F.S Ja, Top Mount Integrated LCD RS485, DeviceNet N/A Standard Span: 0.05% S.P. per °C, Zero: 0.005% F.S. per °C <±0.15% S.P. RS-485 via 2.5mm jack 1-1/2" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 124mm 1/4" VCR male, 1-1/8" body 92mm C seal, 1-1/8" body 79.8mm C seal, 1-1/2" body 79.8mm W seal, 1-1/8" body 92mm W seal, 1-1/8" body 79.8mm W seal, 1-1/2" body 92mm C seal, 1-1/2" body 92mm W seal, 1-1/8" body 92mm C seal poke, 1-1/2" body 92mm 0.440" large C seal ± 0.5% F.S. 10 °C 1x10-10 atm. cc/sec He N/A DeviceNet 11-25Vdc, RS485/Analog 6 Watts eller 24Vdc 55 ln/min Alarms: Control Valve Output & Network Interruption <1 s +1% S.P. > 35-100%, +0.35% < + 0.5% F.S 10 bar 34 bar EC 2004/108/EC, CE, RoHs 2011/65/EU, Reach EC 1907/2006 MFC Health, Network Status NC RS485/Analog via 9-Pin “D” connector, DeviceNet via 5-Pin “M12” connector Flow (%), Temp. (o C), Pressure (psia, kPa) / 0.1 (unit) 5-100% (Normally Closed Valve)

Udvalgt variant

Vælg en variant på listen

Teknisk rådgivning
Nicholas Haslund

Produktchef og Intern Sælger, Proces

+4548106402 48 10 64 02

Send e-mail Send e-mail

Kundeservice

Har du har brug for hjælp? Kontakt os:

phone 70 10 64 00

Send e-mail Send e-mail

comments Chat