BROOKS INSTRUMENT

Ultra høj renhed, Semiconductor, Højt nøjagtighed, Thin-film (CVD, MOCVD, PECVD, ALD) Kun til N2 og H2 gas

Metaltætnet Pressure Controller - PC100 serien

  • Trykområde: > 2 to 100%
  • Flowområde: 0 - 10 ln/min
  • Temperatur: 10 - 50 C
  • Høj nøjagtighed
  • Kommunikation: Digital DeviceNet™

Udvalgt variant

Udvalgt variant

Specifikationer

Funktion Pressure Controller Downstream
Flow 0-5 ln/min
Trykområde max 1,3 bar
Analog output RS485/Analog via 9-Pin "D" Connector
Digital output DeviceNet
Temperaturområde fra 10 °C
Temperaturområde til 50 °C
Overfladeruhed 5 µm Ra
Differenstryk Downstream max DP 45 psid
Display Ja
Diagnostik/serviceport RS485 via 2.5 mm jack
Tilslutning 1 1/8” body width, 1/4” VCR male
Medietemperatur fra 10 °C
Lækrate 1 x 10-10 atm. cc/sec He
Type ventil NC
Længde 124 mm
Laveste flow 0-20 sccm
Responstid <1 sec
Nøjagtighed <10% F.S. = ±0.2% of F.S. >10% to 100% = ±1% of reading
Medietemperatur til 50 °C
Længde 124 m
Elektrisk tilslutning via 5-pin “M12” connector
Displayvisning Resolution Flow (%), Temp. (°C), Pressure (Torr, psia, kPa)/0.1 (unit), MFC Health, Network Status
Reguleringsområde Downstream: >20 Torr to 100% F.S.

Tilbehør

Favoritter Artikler Funktion Flow Analog output Differenstryk Laveste flow Længde Reguleringsområde Gentagelsesnøjagtighed Nulstabilitet Pris
Pressure Controller Downstream
0-5 ln/min
RS485/Analog via 9-Pin "D" Connector
Downstream max DP 45 psid
0-20 sccm
124 m
Downstream: >20 Torr to 100% F.S.
Pressure Controller Upstream
0-5 ln/min
RS485/Analog via 9-Pin "D" Connector
Upstream min DP 150 Torr
0-20 sccm
124 m
Upstream*: >150 Torr to 100% F.S.
Pressure Controller Downstream
10 ln/min
Max DP 45 psid
>20 Torr to 100% F.S.
±0.2% af F.S.
<0.5% per year

Udvalgt variant

Vælg en variant på listen

Kundeservice

Har du har brug for hjælp? Kontakt os:

phone 70 10 64 00

Send e-mail Send e-mail

comments Chat