BROOKS INSTRUMENT

Ultra høj renhed, Semiconductor, Højt nøjagtighed, Thin-film (CVD, MOCVD, PECVD, ALD) Kun til N2 og H2 gas

Metaltætnet Pressure Controller - PC100 serien

PC100-serien af trykregulatorer og målere kombinerer en række teknologiske funktioner med høj ydeevne for at levere et ny niveau af trykreguleringsnøjagtighed og pålidelighed til krævende semiconductor-, dampaflejring- og andre ultra-præcise fremstillingsprocesser.

 

Bygget på den anerkendte Brooks GF100 masseflowkontrol teknologi, har PC100-serien en højrenhed all-metal flowvej, forbedret sensorteknologi, der er designet specifikt til at eliminere sensor-drift, samt et brugergrænseflade og enhedens diagnostikfunktion, der gør det meget nemmere at udføre enhedsevaluering og fejlfinding, hvilket resulterer i begrænset serviceafbrydelse og reduceret nedetid.

  • Trykområde: > 2 to 100%
  • Flowområde: 0 - 10 ln/min
  • Temperatur: 10 - 50 C
  • Høj nøjagtighed
  • Kommunikation: Digital DeviceNet™

Udvalgt variant

Udvalgt variant

Specifikationer

Analog output RS485/Analog via 9-Pin "D" Connector
Diagnostik/serviceport RS485 via 2.5 mm jack
Differenstryk Downstream max DP 45 psid
Digital output DeviceNet
Display Ja
Displayvisning Resolution Flow (%), Temp. (°C), Pressure (Torr, psia, kPa)/0.1 (unit), MFC Health, Network Status
Elektrisk tilslutning via 5-pin “M12” connector
Flow 0-5 ln/min
Funktion Pressure Controller Downstream
Lækrate 1 x 10-10 atm. cc/sec He
Længde 124 mm
Laveste flow 0-20 sccm
Medietemperatur fra 10 °C
Medietemperatur til 50 °C
Nøjagtighed <10% F.S. = ±0.2% of F.S. >10% to 100% = ±1% of reading
Overfladeruhed 5 µm Ra
Reguleringsområde Downstream: >20 Torr to 100% F.S.
Responstid <1 sec
Temperaturområde fra 10 °C
Temperaturområde til 50 °C
Tilslutning 1 1/8” body width, 1/4” VCR male
Trykområde max 1,3 bar
Type ventil NC

Produktbeskrivelse

PC100-serien af trykregulatorer og målere kombinerer en række teknologiske funktioner med høj ydeevne for at levere et ny niveau af trykreguleringsnøjagtighed og pålidelighed til krævende semiconductor-, dampaflejring- og andre ultra-præcise fremstillingsprocesser.

 

Bygget på den anerkendte Brooks GF100 masseflowkontrol teknologi, har PC100-serien en højrenhed all-metal flowvej, forbedret sensorteknologi, der er designet specifikt til at eliminere sensor-drift, samt et brugergrænseflade og enhedens diagnostikfunktion, der gør det meget nemmere at udføre enhedsevaluering og fejlfinding, hvilket resulterer i begrænset serviceafbrydelse og reduceret nedetid.

Tilbehør

Brooks tilbud
Produktnyheder

Spar penge og ressourcer med opgradering

Forlæng dit udstyrs levetid, undgå dyre nyindkøb og opgradér til fremtiden. På den måde opnår du stabil drift, avanceret diagnosticering og højere procesudbytte – og samtidig styrker du både din bundlinje og miljøindsats.

Brint
Tips og guides

Brint - energi til fremtiden

Vätgas, det mest förekommande grundämnet i universum, har seglat upp som en av de mest lovande energibärarna för framtiden. Även om dess potential har varit känd i årtionden, har de senaste framstegen inom teknik och ökande miljökrav gett vätgasen en central roll i den globala energiövergången. Men vad gör vätgas så speciell och hur kan den bidra till en hållbar framtid?

Dis sensor istedet for kviksølvsafbrydere
Tips og guides

Derfor skal du skifte fra kviksølvsafbrydere til DIS-sensorer

I mange år har kviksølvsafbrydere været anvendt i industrien, særligt i lifte og andre tunge maskiner, på grund af deres pålidelighed og holdbarhed. Men med stigende fokus på miljø- og sundhedsrisici er det blevet afgørende at erstatte dem med sikrere alternativer som DIS-sensorer.

Få mere ud af din robot listing
Produktnyheder

Maksimer din robots potentiale med skræddersyede EOAT-løsninger

For at få mest muligt ud af din robot er det vigtigt at have det rette end-of-arm-tooling (EOAT). Skræddersyede EOAT-løsninger kan forbedre effektiviteten, præcisionen og fleksibiliteten i dine automatiseringsprocesser.

Listing for artikel
Produktnyheder

Hygiejnekravene strammes: Hvordan undgår du produktionsstop og kontaminering

Fødevareindustrien står over for stigende krav til hygiejne og effektivitet. En af de største ændringer i branchen kom med 3-A Sanitary Standards opdatering af standard 68-01. Den gør det klart, at traditionelle kugleventiler ikke længere anses for CIP-kompatible.

Lær mere om atex
Tips og guides

Lær mere om ATEX: Sikkerhed i farlige miljøer

ATEX, der står for "Atmosphères Explosibles", er et centralt begreb inden for industriel sikkerhed, især i miljøer med risiko for eksplosion på grund af tilstedeværelsen af brændbart medie som gasser, støv eller dampe.

Favoritter Artikler Analog output Differenstryk Flow Funktion Gentagelsesnøjagtighed Laveste flow Nulstabilitet Reguleringsområde Pris
RS485/Analog via 9-Pin "D" Connector
Downstream max DP 45 psid
0-5 ln/min
Pressure Controller Downstream
0-20 sccm
Downstream: >20 Torr to 100% F.S.
RS485/Analog via 9-Pin "D" Connector
Upstream min DP 150 Torr
0-5 ln/min
Pressure Controller Upstream
0-20 sccm
Upstream*: >150 Torr to 100% F.S.
Max DP 45 psid
10 ln/min
Pressure Controller Downstream
±0.2% af F.S.
<0.5% per year
>20 Torr to 100% F.S.

Udvalgt variant

Vælg en variant på listen

Kundeservice
Har du har brug for hjælp? Kontakt os:
Har du brug for hjælp? Klik her!
Logo

COOKIE-INDSTILLINGER FOR OEMKLITSO.DK

Cookies hjælper os med at forbedre din oplevelse med os. Så for at kunne analysere trafikken, håndtere loginoplysninger, tilbyde dig personlige oplysninger og for at grundlæggende funktionalitet kan fungere på webssitet, skal vi bruge nogle cookies.

NØDVENDIGE COOKIES

Disse cookies er nødvendige for, at webstedet fungerer og kan ikke slås fra i vores systemer. De bruges normalt kun som reaktion på handlinger, du har foretaget i forbindelse med en serviceanmodning, f.eks. Når du angiver personlige præferencer, logger ind eller udfylder en formular.

ANALYSE OG MÅLING

Disse cookies giver os mulighed for at tælle antallet af besøg og trafikkilder, så vi kan måle og forbedre vores websteds ydeevne. De hjælper os med at vide, hvilke sider der er mere eller mindre populære, og hvordan besøgende navigerer rundt på webstedet. De oplysninger, som disse cookies indsamler, er aggregerede og derfor helt anonyme. Hvis du ikke tillader disse cookies, ved vi ikke, hvornår du har besøgt vores websted.

MARKEDSFØRING

Disse cookies kan tilføjes af vores partnere. De kan bruge dem til at oprette en profil af dig baseret på dine interesser for at vise dig mere relevante oplysninger. De gemmer ingen personlige oplysninger - kun oplysninger om din browser og enhed. Hvis du ikke accepterer disse cookies, får du en mere generel og mindre tilpasset brugeroplevelse.