BROOKS INSTRUMENT

Høj Temperatur, Ultra høj renhed, Kompakt, Laboratorium, Vapor, Semiconductor

Metaltætnet Mass Flow Controller og Meter - MFC/MFM - GF120XHF Serien

GF120xHT-serien

 

Metaltætnet højtemperatur-termiske masseflowkontrollere og -målere Højren flow. Enestående ydeevne og pålidelighed til højtemperaturapplikationer.

 

GF120xHT højtemperatur-masseflowkontrollere (MFC'er) og målere (MFM) er designet til at styre og måle masseflowet af damp, flydende eller faste kilder. For at understøtte den stigende anvendelse af disse forløbere i halvlederfremstillingsprocesser.

 

Flowmodulet på GF120xHT kan modstå driftsmiljøer på op til 150°C. For at understøtte dette temperaturområde er elektronikken tilsluttet fjernbetjening til resten af enheden og monteret på et sted med lavere temperatur (maks. 50°C).

 

Den fjernstyrede elektronik kan monteres med en DIN-montering med valg af tre forskellige kabellængder til forbindelse - standard 3 ft, 8 ft og 16,5 ft. Det brede udvalg af kommunikationsprotokoller og monteringsmuligheder gør GF120xHT til et ideelt valg til næste generations procesudstyr og opgradering til ældre opvarmede MFC'er.

 

Applikationer

 

  • Advanced Strip Processes
  • Atomic Layer Deposition (ALD)
  • Deposition

 

Fordele

  • Understøtter applikationer op til 150°C for levering af flydende forløberdamp.
  • Brugervenligt diagnoseinterface understøtter procesingeniør i at sikre, at MFC'en opererer inden for de specificerede grænser for høj udbytte og maksimal oppetid.
  • Tilbyder uovertruffen langvarig sensorstabilitet for maksimal gennemløb og udbytte.
  • Kalibreret ved kundens driftstemperatur og tryk for optimal ydeevne. 
  • Max Temperatur: 150°C
  • Nøjagtighed: +/- 1%
  • Flowområde: 50 sccm - 100 nlpm
  • Fås både med Analog og Digital kommunikation
  • Max tryk: 34 Barg

Udvalgt variant

Udvalgt variant

Specifikationer

Mål & tilslutninger

Tekniske illustrationer

Produktbeskrivelse

GF120xHT-serien

 

Metaltætnet højtemperatur-termiske masseflowkontrollere og -målere Højren flow. Enestående ydeevne og pålidelighed til højtemperaturapplikationer.

 

GF120xHT højtemperatur-masseflowkontrollere (MFC'er) og målere (MFM) er designet til at styre og måle masseflowet af damp, flydende eller faste kilder. For at understøtte den stigende anvendelse af disse forløbere i halvlederfremstillingsprocesser.

 

Flowmodulet på GF120xHT kan modstå driftsmiljøer på op til 150°C. For at understøtte dette temperaturområde er elektronikken tilsluttet fjernbetjening til resten af enheden og monteret på et sted med lavere temperatur (maks. 50°C).

 

Den fjernstyrede elektronik kan monteres med en DIN-montering med valg af tre forskellige kabellængder til forbindelse - standard 3 ft, 8 ft og 16,5 ft. Det brede udvalg af kommunikationsprotokoller og monteringsmuligheder gør GF120xHT til et ideelt valg til næste generations procesudstyr og opgradering til ældre opvarmede MFC'er.

 

Applikationer

 

  • Advanced Strip Processes
  • Atomic Layer Deposition (ALD)
  • Deposition

 

Fordele

  • Understøtter applikationer op til 150°C for levering af flydende forløberdamp.
  • Brugervenligt diagnoseinterface understøtter procesingeniør i at sikre, at MFC'en opererer inden for de specificerede grænser for høj udbytte og maksimal oppetid.
  • Tilbyder uovertruffen langvarig sensorstabilitet for maksimal gennemløb og udbytte.
  • Kalibreret ved kundens driftstemperatur og tryk for optimal ydeevne. 

Tilbehør

Kunde-case

Kundecase: Spectro Inlets benytter Brooks Mass Flow Controller og pressure controller

Brooks Instruments og OEM Automatic Klitsø blev valgt af Spectro Inlets til udvikling og production af instrumenter til massespektroskopi. Årsagen var mere tilfredstillende leveringstider og supply chain.

Produktnyheder

Skift din gamle Mass Flow Controller ud med rabat

Har du en gammel Mass Flow Controller liggende som trænger til at blive skiftet ud, så giver vi lige nu 25 % rabat på udskiftning af gamle Mass Flow Controller til nye fra Brooks Instrument.

Produktnyheder Bæredygtighed

Arbejder du med GREEN HYDROGEN? Vi har de sikre ventilløsninger til grøn hydrogenproduktion fra producenten Interapp

Green hydrogen er en af de mest miljøvenlige muligheder for at producere hydrogen, da processen drives af vedvarende energikilder som vind eller solenergi. Helt rene og ilt-egnede ventiler er afgørende for at garantere en sikker, effektiv og fejlfri drift af anlægget.

Produktnyheder

OEM Automatic Klitsø tilbyder specielle tilbud til alle universiteter i samarbejde med Brooks Instruments

Udstyr dit laboratorium med de bedste instrumenter og tilbehør til at levere præcise resultater og flytte din forskning fremad. Se nedenfor og vælg hvilket tilbud der passer bedst til dit behov.

Virksomhedsnyt

Mød os på Ajour - Erhvervskonference 2023 - maskinmestrenes messe - få gratis billetter hos OEM Automatic Klitsø

OEM Automatic Klitsø deltager i Ajour - Erhvervskonference 2023 arrangeret af Maskinmestrenes Forening - i Odense den 23.-24. november 2023. Udfyld formularen og få gratis billetter. Og hils på os i vores stand og få en snak om produkter og løsninger til din virksomhed.

Tips og guides

Hvorfor bruge et rotameter (Variable Area Flow Meter) til at måle gas- eller væskeflow

Vi giver her et lille overblik over de gode grunde til at bruge et rotameter.

Favoritter Artikler Pris

Udvalgt variant

Vælg en variant på listen

Teknisk rådgivning
Nicholas Haslund

Produktchef og Intern Sælger, Proces

+4548106402 48 10 64 02

Send e-mail Send e-mail

Kundeservice

Har du har brug for hjælp? Kontakt os:

phone 70 10 64 00

Send e-mail Send e-mail

comments Chat