BROOKS INSTRUMENT
Semiconductor, Ultra høj renhed, DI Vand, Højt Flow, Lavt Tryk, Høj Nøjagtighed, Hurtig Responstid
Vaporizer VDM300
Brooks VDM300 Vaporizer delivery module
Ideal til brug i processer som
Silicon semiconductor post-metal etch process
Silicon semiconductor metal strip process
Ultra-high purity humidification in sub-atmospheric environments
Få den højeste nøjagtighed ved brug af brooks VDM300 Vaporizer unit helt ned til 5 % af full scale, VDM300 kan bruges i miljøer som kræver ultra high purity og til deioniseret vand (DI). VDM300 har en flowrange på op til 3000 sccm / 3 ln/m (DI) vand. VDM300 kan bruges i et stort spænd af temperature da den klare 15°C - 45°C i område temperatur, og den kan klare et tryk op til 200 torr. VDM300 tilbyder også en brugervenlig data logging og dianostic feature via service porten og et intuitivt grafisk bruger interface.
Software:
https://www.brooksinstrument.com/en/products/accessories-software/product-software/brooks-expert-support-tool
- Ultra high purity DI vand
- Kompakt design
- Flowrange: 3000 Sccm ( 3 ln/m DI vand)
- Stor nøjagtighed helt ned til 5 % af FS
- Kommunikation: Analog 0 til 5-24 Vdc. Digitalt EtherCAT via dual RJ-45 jack. Diagnostic (RS485) via microUSB
Udvalgt variant
Udvalgt variant
Specifikationer
Downloads
Produktbeskrivelse
Brooks VDM300 Vaporizer delivery module
Ideal til brug i processer som
Silicon semiconductor post-metal etch process
Silicon semiconductor metal strip process
Ultra-high purity humidification in sub-atmospheric environments
Få den højeste nøjagtighed ved brug af brooks VDM300 Vaporizer unit helt ned til 5 % af full scale, VDM300 kan bruges i miljøer som kræver ultra high purity og til deioniseret vand (DI). VDM300 har en flowrange på op til 3000 sccm / 3 ln/m (DI) vand. VDM300 kan bruges i et stort spænd af temperature da den klare 15°C - 45°C i område temperatur, og den kan klare et tryk op til 200 torr. VDM300 tilbyder også en brugervenlig data logging og dianostic feature via service porten og et intuitivt grafisk bruger interface.
Software:
https://www.brooksinstrument.com/en/products/accessories-software/product-software/brooks-expert-support-tool
Bestillingsinformation
OBS ! prisen er kun på "basic" enheden
Kontakt vores produktspecialist for at finde den mest optimale løsning til dit behov.
Nicholas Haslund 
